满级富婆，潇洒九零 第731节

这些年，光刻技术进展也很快，一路从g-line(436nm)、i-line(365nm)，走到了krf(248nm)，分辨率也一路上升。

只是目前卡在了130nm制程上，它需要更高的分辨率。传统汞灯（i-line，365nm）和krf准分子激光（248nm）的分辨率怎么也达不到这个标准。

国际上比较知名的光刻机厂商，像日本的尼康、佳能还有荷兰的asml等，都将目光投向了更短的193nm波长（arf准分子激光）。

王潇摇头：“不，我们要做193nm的波长，不过不做干式的，直接做浸润式的。”

她解释了一句，“我们再追下去没意思，跟着人家屁股后面，越追越远，不如弯道超车。”

郑老先生意味深长道：“那这一枪打出去，可未必有鸟。”

跟着人家屁股后面搞研发，看上去好像有点上不了台面，但实际上这是效率最高，成功概率也最高的研究方式。

因为先行者替你把所有的雷都趟了一遍了，不用你把精力浪费在已经失败的道路上。

王潇也明白第一个吃螃蟹的人，往往不是行业巨佬。研发经费过高，对企业经营来说，风险也随之增高。

赌错了，就是万劫不复。

她点点头：“先打一枪试试看。”

郑老先生没有再劝她三思而后行，而是放下了手上的资料，分析她要面临的问题：“那你这就是两步走。”

他在桌上放了两片蚕豆壳，然后指着左边的蚕豆格示意：“首先是单纯的193nm的机器，要有稳定的193nm arf准分子激光器，来解决了激光功率低、寿命短的问题。”

他又在左边放下了一片更小的蚕豆壳。

“你还得有高纯度的熔融石英透镜，要保证折射率在193nm波段的稳定性，来确保成像精度。光刻胶也得更新换代，灵敏度要提升，才能满足193nm曝光需求。”

他伸手点了点左边的三片蚕豆壳，“等到这一代的机器做出来以后——”

他将手转移到了右边，“后续才是193nm的浸润机。”

黄副市长听的真着急，因为哪怕他是门外汉，他也知道193nm的干式机，对国内目前的水平来讲，属于妥妥的可望不可即的高度。

所以他脱口而出：“不能在248nm的基础上直接做吗？”

郑老先生微微笑，未置可否，只问王潇：“那你们想好了用什么液体来做这个介质吗？”

“去离子水。”王潇已经想要捂脸了。

果不其然，郑老先生再度开启了慢条斯理模式：“理论角度上来讲，用去离子水做这个介质，折射后的波长应该会比193nm短。”

不等黄副市长精神振奋，他又剥开了一颗蚕豆，继续往桌上摆蚕豆壳，“这样，我们首先要解决第一个问题。”

“248nm光源需使用氟化钙（caf）透镜，caf与水接触时可能发生水解反应，导致透镜表面损伤，这样，我们需要额外设计防腐蚀涂层。”

众人先傻眼了，面面相觑。这好像简单问题复杂化了啊。

然而郑老先生还没结束他的连环击，再度放下一片蚕豆壳，“248nm光刻胶，聚对羟基苯乙烯，phs，在浸润环境中，可能因水的渗透导致图案变形。这个问题，也要想办法解决。”

众人感觉眼前一黑接一黑，本来他们觉得复杂问题可以简单化的。

结果叫郑老这么一分析，反而简单问题复杂化了。

郑老先生慢慢嚼着蚕豆，然后咽下肚子，才意味深长道：“技术更新就是这样。技术也要找自己的时机，就好像到了温度花才会开，它还需要执行力。这二者缺一不可。否则，再伟大的技术，它也落不了地。”

餐桌上陷入了沉默，只江水拍击着船发出的声响，透过窗户，传进包厢。

一并而来的，只有江水的潮湿之气和浓郁的咸腥味。它们如同黄浦江伸出的舌头，像母兽一样，舔舐着每个人的焦灼。

岸上灯光点点，小孩子奔跑时大喊大叫的欢笑声，让包厢里的沉寂愈发郁郁。

最后还是郑老先生打破的沉默，他发出了一声叹息：“而且248nm的光刻机，我们也造不出来啊。”

“krf准分子激光器，需高纯度氟化氪气体和精密放电技术，我们国内的工业体系根本就没有这个基础。”

“纳米级对准精度和稳定性，都需要超精密制造能力，我们同样也没有这个技术。”

他拿手绢擦自己的手，再一次叹息，“高数值孔径（na）的投影物镜，德国蔡司要是能出口给我们的话，倒是不用我们再从头做起了。”

五月底的江风，像是把黄浦江深处的凉意都给卷出来了，热情过度地往人身上扑，扑的人心里拔凉拔凉。

郑老先生将手绢放回自己的口袋，声音在江风中微微发颤：“工业的累积就是这个样子，想走捷径，跳过任何一个环节，几乎都不可能。”

这一顿江上的晚饭，吃的痛快还是不痛快，实在太难评。

你要说不痛快吧，桌上的面和菜都光盘了，可见大家吃的都挺麻溜。

但你要说痛快吧，上船的时候大家还言笑晏晏，个个信心十足。

结果等到了下船，所有人都沉默寡言，空气里只有江水的拍击声，和船上的录音机发出的歌声：“浪奔，浪流，万里涛涛江水永不休……”

人的烦恼啊，就跟江水一样，好像永远不会有停下来的时候。

小孩子在江滩上放会发光的风筝——现在的玩具真是一天一新鲜，风筝缠上了树枝，他急得哭。

家里的大人一边骂，一边上树去给他捡风筝。

唉，他们也想被骂两句，只要能解决他们的问题就好。

沉默的人下了沉默的船，走上沉默的江滩，然后又进了沉默的轿车。

轿车发出的声响，也好象沉重不堪的叹息。

因为它的核心技术，国产仍然实现不了。