第403章 让你热馒头,你跟锅盖分析受热变形?(1 / 3)
顾晴挠了挠头髮,乾笑了一声,赶紧打圆场。
“懂了懂了。刚才就是嘴碎,话顺著嘴边禿嚕出来了。”
顾昭昭把那份年报重新推回她眼皮底下。
“你能懂,说明你比大部分人都聪明。好奇是人类的正常生理反应,但科研保密,从来不按血缘亲情来分配权限。”
顾晴被噎得翻了个白眼。
“你这话听著是真硬邦邦的,但我居然觉得该死的有道理!”
顾昭昭重新捏起铅笔,一秒切回学霸辅导模式。
“接著看你的参数表吧。这个没出公开范围,隨便讲。”
顾晴那点小尷尬瞬间被这句话给扫空了,立马坐得溜直。
“讲讲讲!今天高低得把你脑子里的墨水多榨点出来。”
顾昭昭在白纸上刷刷列出蒸镀功率、沉积速率、基板温度三列数据,又补了个膜厚均匀性。
“你这组数据最大的坑,就是把功率和生长速率当成简单的线性关係来算了。”
顾晴眉头拧成了一个疙瘩。
“不是功率给得越大,长得就越快吗?”
“在低功率区你可以这么凑合算,但越过一定閾值后,基板表面的迁移过程就成了拖后腿的限制因素。这时候你功率还不管不顾地往上猛加,速率不但不会按比例涨,反而会让表面粗糙度直接飆升。”