第16章 钱不是问题(1 / 3)
没有一个猜测接近真相,但每一个猜测都说得有鼻子有眼。
唯有苏诚知道,这些声音就像暴雨来临前的雷鸣。
听到了,就说明雨已经不远了。
他把报纸搁在书桌一角,重新看向笔记本屏幕。
散热风扇嗡嗡地转著,屏幕上孟哲的邮件已经回復了,正文很短:“请把地址发我,马上过去。”
邮件正文下方附了一个小小的附件,文件名是“90nm工艺参数初步评估。”
备註写著:“请先看这个,我做的初步工艺评估。”
苏诚点开附件,滑鼠滚轮往下滑动。
一行行中英文对照的工艺参数在屏幕上铺展开来。
photolithography resolution(光刻解析度)≤90nm、etching depth ratio(刻蚀深度比)1:15、pecvd film uniformity(薄膜沉积均匀度)±3%、cmp planarization range(平坦化参数范围)50-100nm。
苏诚看不太懂这些专业术语,但每个术语旁边都被孟哲用红色字体做了详细標註。
光刻解析度那一栏旁边写著:“90nm节点对应193nm波长光源,需配合相位移掩模技术,此参数与台积电2004年公开的90nm工艺窗口吻合度极高。”
刻蚀深度比旁边写著:“1:15的深宽比在2006年属於第一梯队水平,国內中芯国际当前只能做到1:8左右。”
他越往下翻,嘴角的笑意越深。
这份评估的精细程度说明孟哲看完资料后是认真的。 ↑↑